反応性プラズマにおけるプラズマ表面相互作用シミュレーション
2001 年 70 巻 9 号 p. 1099-1103
詳細
2001 年 70 巻 9 号 p. 1099-1103
反応性プラズマは材料プロセスに多く用いられるが,プラズマと材料表面との相互作用に関してはよく理解されていない点が多い.近年,分子動力学法による計算機シミュレーションを胴いて,プラズマ表面相互作用を原子レベルでモデル化して解析しようとする試みが広く行われているほ本稿では,反応性プラズマのシミュレーションの中で,特に,プラズマ表面相互作用のシミュレ-ションに関して概説する.
