ヘリコンプラズマスパッタ法によるAu/SiO2ナノコンポジット積層膜の作製とその光学特性

抄録

Au/SiO₂ナノコンポジット積層膜はヘリコンプラズマスパッタ法を用いて作製した。SiO₂母相に分散している金微粒子は、成膜時間の増加に伴ない、10秒までは粒径が大きくなり、その後ネットワック状構造を経てフィルム状構造に変わった。光吸収ピークを示す積層膜では、金一層ごとの最適な成膜時間は8秒で、そのときの金粒子の大きさは6-8nmであった。3.35-10.31vol%の金を含むAu/SiO₂ナノコンポジット積層膜は、波長560nm付近に金ナノ粒子の表面プラズモン共鳴に起因する吸収ピークが観察された。光吸収ピークの強度は金含有量の増加と共に増大し, 高い光吸収特性を示す最適な金含有量は10.31vol%であった。