エアロゾルデポジション法によるマイクロアクチュエータの製作

抄録

エアロゾルデポジション法(AD法)を用いて、ステンレス基板やSiダイアフラム上に圧電厚膜(PZT)を約20∼50μm厚で直接成膜し、カンチレバー型のアクチュエータやダイアフラム型のアクチュエータを作製、評価を行った。結果、良好な動作特性を示した。