酸素ガスセンサの高速応答(ミリ秒オーダー)特性評価装置の開発

抄録

本研究チームは、耐環境性酸素センサとして、酸素欠陥拡散が高い材料を用い、微細構造を高度制御することで高速応答を可能にする抵抗型酸素センサを研究開発中である。今回は、我々の抵抗型酸素センサの応答速度を正確に評価するために、新しい評価装置を開発し、ミリ秒オーダーの応答時間の評価に挑戦した。