酸化セリウム微粒子を用いた抵抗型酸素ガスセンサの高速応答評価

抄録

平均粒径が100nmである酸化セリウム厚膜を用いた抵抗型酸素センサをスクリーン印刷と1373Kでの焼成により作製した。高速応答を酸素分圧を周期的に変化させる方法により評価した。1173Kにおいて、酸素センサの出力の振幅は0.1から4Hzの範囲では、周波数に依存しなかったため、1173Kにおける応答時間はそれぞれ0.25s以下と1s以下であることが明らかとなった。