熱電水素ガスセンサの水素ガス選択性

抄録

熱電変換材料膜としては、リチウムドープ酸化ニッケルを用い、アルミナ焼結体の基板上にスクリーン印刷法で厚膜を形成した。触媒膜材としては白金を用い、r.f.スパッタで薄膜を形成した。本センサでは、水素に対する白金の触媒活性が室温付近に於いて他の可燃性ガスに比べて高いことから、水素選択性が生じる。