貴金属を核生成剤として用いたアモルファスTiO2薄膜の結晶化挙動

抄録

近年、酸化チタン薄膜は光触媒として幅広く利用されているが、光触媒活性の高いアナターゼ相の作製が求められている。本研究では、アモルファスTiO₂薄膜を熱処理により結晶化させ、その結晶化を制御することを目的とした。核生成剤として貴金属を下地に用いたアモルファスTiO₂薄膜を作製し、その後の熱処理によるTiO₂の結晶化挙動を調べた。下地層にAgを用いた場合に、高温まで安定なアナターゼ相が得られたので報告する。