抄録
TiO2薄膜をアンモニア気流中で熱処理することによって、窒素ドープしたTiO2薄膜を作製した。得られた薄膜に対し、XPS、XRD、SEM、表面のゼータ電位を評価した。XPSで窒素の状態を評価したところ、アナターゼ型TiO2格子の酸素位置に窒素が置換していることが示唆された。ゼータ電位に関しては、窒素のドープ量が増大するにつれて負側へシフトした。等電点でのpHについては、窒素をドープしていないものが6.0であるのに対し、窒素をドープした場合は1.0となった。更に、本研究においてはこれらの薄膜の光触媒特性も評価した。