ZnOおよびZnO:Alウイスカーの蛍光特性

抄録

大気開放型CVD法を使用してAl₂O₃(0001)基板上に完全配向したZnOおよびZnO:Alウイスカーを作製した。作成した試料についてカソードルミネッセンス測定を行い、蛍光特性を調査した。その結果ZnOウイスカーは385nmに発光ピークを得た。これは自由励起子による発光と思われる。またAlをドープしていくことにより自由励起子による発光が急激に弱くなり、青色領域(420nm付近)に発光ピークが得られた。これはAlがドープされることによりZnOの結晶に不純物準位が生じたための発光と思われる。その強度はドープ量が増えるごとに減少することから濃度依存性を持つといえる。