抄録
本研究では、マイクロパターニングを実施するビルドアップアプローチとして、電気泳動法を適用し検討を行った。通常、電気泳動法は粒子を分散させた懸濁液中に一対の電極を挿入し、電位勾配を発生させることで粒子を電極上に堆積させる手法である。ここでは、電気泳動法をマイクロパターニングに応用するため、堆積基板への対極に極めて細い白金線を用いて電気泳動を行った(μ-EPDと呼ぶ)。泳動させる粒子には、粒度分布が非常にシャープであるポリスチレン球状粒子(平均粒径320nm)とシリカ粒子(1.2μm)を使用した。電圧を印加しながら白金電極を移動させμ-EPDを実施した後、試料を懸濁液から取りだし、常温常圧下で乾燥させ、SEMを用いて試料の観察を行った。得られた結果から、マイクロパターニングへのμ-EPD法の有用性について考察を行った。
