ポリシラザン溶液をコーティング液とするシリカ薄膜の作製と性質

抄録

ポリシラザンのキシレン溶液をコーティング液としてシリコンウェハー上にスピンコーティングを行った。得られた薄膜を種々の酸性および塩基性溶液の蒸気に室温のもとで曝露した。80℃の蒸留水中に膜を浸漬した際の膜厚減少から膜の耐熱水性を調べた。室温大気中に静置しただけの膜の膜厚は, 熱水に1日浸漬すると0.13ミクロンから0.03ミクロンに減少した。一方, NH^{3 aq. あるいはC₂H₅NH₂ aq. の蒸気に18時間曝露した膜は熱水に5日浸漬しても膜厚は減少しなかった。}