抄録
ポリビニルピロリドンを含むZn(CH3COO)2·2H2O-AlCl3溶液を用いて, シリカガラス基板上にAlドープZnO膜を作製した。ディップコーティングと熱処理は繰り返しせず, 一回とした。ゲル膜を100℃で2min, 300℃で10min, 熱処理した後に, 800℃で種々の時間熱処理した。800℃での熱処理時間60minまでは, 熱処理時間の増加とともに膜厚は0.35ミクロンから0.3ミクロンまで減少した。800℃で熱処理時間930minまでは, 熱処理時間の増加とともに膜の比抵抗は100から10-3ohm cmまで減少した。
