ゾルゲル法によるハフニア薄膜の光照射による硬化

抄録

本研究は、ゾルゲル法によりハフニアゲル膜を作製し、高圧水銀灯による硬化を調べることを目的とした。2種類のハフニアゾル液(A、B)を作製した。Aは、HfCl₄のエタノール溶液をH₂Oと60%HNO₃の混合液により加水分解して得た。Bは水酸化ハフニウムを、H₂OとHCOOHを用いて得た。ハフニアゾル液AおよびBを塗布して得たゲル膜に、時間を変えて紫外線を照射した。鉛筆硬度の変化が見られなくなった7日後のデータによると、ゾル液Aから得たハフニア薄膜は、紫外線照射時間0および10分では硬度が6B以下であり軟らかい膜であった。しかし、紫外線を30分以上照射すると、9H以上となり高硬度となった。一方、ハフニアゾル液Bから得たハフニア薄膜の場合は、紫外線を照射しなくても硬度はHであり、照射5分により9H以上の高硬度となった。ゾル液処方を変化することにより、短時間照射で高硬度ハフニア薄膜が作製できることが分かった。