酸化亜鉛薄膜成長に関する金の効果

抄録

酸化亜鉛薄膜の成長に関する金の効果を検討した。金は薄膜を合成する前に基板上にコートし、その上に酸化亜鉛薄膜をCVD法で成長させた。金の効果により酸化亜鉛薄膜は、C-軸配向からシート状へと変化した。また、金は薄膜表面では検出されず、基板上に留まり酸化亜鉛の核生成にのみ効果的であることが判明した。