酸化亜鉛中の点欠陥構造に対するイオン注入の効果

抄録

酸化亜鉛薄膜に見るように非平衡点欠陥はセラミックス材料中で重要な役割を果たしており、我々はこの役割を明確にするために、イオン注入法による非平衡欠陥の導入を試みた。この方法により導入された欠陥を酸素拡散と発光により評価したところ、Arイオン少量注入ではかえって酸素拡散を阻害するのに対し、多量ドープでは通常の促進効果が見られた。これに対し、発光ではほんの少量の注入によっても発光現象が観測されないことが明確となった.