抄録
原子層レベルの薄膜作製技術によって創り出される人工超格子は、自然界に存在しない結晶を人工的に作製することで、これまでより優れた機能や特性、さらには新たな機能の発現の可能性を秘めている。本研究では、BaTiO3/SrTiO3系人工超格子の正確な誘電特性を明らかにするため、絶縁性SrTiO3基板上に作製した薄膜に電子線リソグラフィ法により微小交差指電極を形成し、測定した複素アドミッタンスを電磁界解析シミュレーションで解析することで薄膜の誘電特性を求めた。その結果、10単位格子ずつ交互に積層した人工超格子は他の周期の試料より大きな誘電率(比誘電率で33000)を示し、110MHzまでほぼ一定であることが明らかになった。
