エアロゾルデポジション法による磁気カードリーダーヘッドの耐摩耗コーティング

抄録

セラミックスの微粒子を高速で基材に吹き付け室温にて製膜体を得るといった新たな製膜技術(エアロゾルデポジション法^*)を用いて、各種基材上にアルミナ製膜体を作製し、その機械的特性について評価を行った。なお、本製膜方法を用い実際に磁気ヘッド表面へのセラミックスコートを施し、実使用環境下での耐久性についても評価を行った。