エアロゾルデポジション法で形成したアルミナ膜の静電チャックへの応用

抄録

エアロゾルデポジション法は, 数μm厚のセラミックス膜作製方法の1つである. 静電チャックの実用性を目的に, α-アルミナ膜はエアロゾルデポジション法によって作製した. 生成された膜は優れた特性を有していた. これより本方法で作製した膜は, 静電チャックとして優れた材料であると考えている.