紫外線を照射して作製したジルコニア薄膜の結晶性·表面微構造に対する基板と照射波長の影響

抄録

アルコキシド法によって作製した結晶化前のジルコニア薄膜に紫外線照射を行い、結晶化後の薄膜の結晶性、表面微構造に対する照射波長、基板の影響について検討を行った。結晶化前のジルコニア薄膜に超高圧水銀灯を用いて室温下で紫外線を照射すると表面の微構造が変化し、低圧水銀灯を用いて同様に紫外線照射を行うと、薄膜の結晶性が向上し、結晶化温度を低下させることが出来ることが分かった。この光化学反応には光の波長とともに基板が大きな役割を果たしていることが分かった。