高熱伝導窒化ケイ素の微構造解析

抄録

窒化ケイ素にYb₂O₃-MgO或いはYb₂O₃-MgSiN₂を助剤として加え、1900℃で2、48時間保持して0.9MPaの窒素圧で焼成した。焼結体中の内部と表面近傍の組織をSEM、TEMを用いて観察した。またHREM、STEMで用いて粒子内、粒界の構造と組成分析を行い2種類の助剤の違いを検討した。三重点の構造は助剤によって異なっていた。