MgSiN2が窒化ケイ素の熱伝導率に及ぼす効果

抄録

α窒化ケイ素にYb₂O₃-MgO或いはYb₂O₃-MgSiN₂を焼結助剤として加え、1900℃, 0.9MPa窒素ガス圧中で2∼48時間保持して焼成した。得られた焼結体の密度、重量減少、熱伝導率、微構造を評価した。焼成時間に伴い熱伝導率は増加した。MgSiN₂添加焼結体は同条体で作製したMgOの添加焼結体の熱伝導率よりも20W/mK以上向上しており最高で155W/mKを示した。