細線放電用連続細線供給装置の開発とAlN超微粒子の高純度化

抄録

パルス細線放電法は熱処理無しで、高いエネルギー効率で超微粒子作製ができる方法である。本研究では連続細線供給装置の開発とともに、窒化率向上の条件を調べた。得られた結果は以下の通りである。(1) 360Jの投入エネルギーで窒化率98wt.%が得られる。(2) 作製された超微粒子の比表面積はBET法による測定の結果65.5m²/gである。(3) BET測定とSEM観察から超微粒子の平均粒径は約30nmである。(4) 超微粒子作製量は46g/kWhに達することが判明した。