CVD-ZnO 結晶成長過程のカソードルミネッセンスによる評価

抄録

大気開放型CVD法により作製したZnOウイスカーは電子励起によって強い紫外線発光が得られる。ZnOの結晶成長プロセスを評価するために、結晶形態とZnOウイスカーのカソードルミネッセンス強度の関係を調査した。ZnOウイスカー群とZnO多結晶膜を実験に用いた。ZnOウイスカー群の紫外線発光強度はZnO多結晶膜より強いことが観察された。これは結晶成長が連続膜からウイスカー形状に変化するときカソードルミネッセンス強度が増加することを意味する。