光・熱 CVD 法によるホウ素およびリン化ホウ素薄膜の熱電特性

抄録

重水素ランプを用いたB2H6-PH3-H2系光・熱CVD法によって、石英ガラス上に析出させた非晶質ホウ素および多結晶リン化ホウ素薄膜の熱電特性を測定した。導電率、熱電能の温度依存性および石英ガラスの熱拡散率から、石英ガラスベースの熱電性能指数を求めた。その結果p,n型を制御した光・熱CVD法で作製したリン化ホウ素薄膜の性能指数は10-4/Kでホウ素薄膜より大きく、高温熱電素子材料として有望である。