溶融塩電着ホウ素ウエハーの熱電特性

抄録

KBF4─KF溶融塩により、陽極に黒鉛坩堝、陰極にNi板を用い680℃、1時間、様々のKBF4/KFと電流密度下(0.5～2.0A/cm2)でホウ素ウエハーを作製した。非結晶ウエハーの純度は87%であった。導電率の温度依存性は0.5eVの熱活性化型で、熱電能(1─10mV/K)は高温まで増加の傾向を示す。レーザーフラッシュ法で求めた熱伝導率は、全温度領域でほぼ一定で非結晶の特徴を示す。熱電性能指数は高温で最大10-4～10-3/Kで電流密度に依存している。