熱電式水素センサにおける薄膜熱電変換材料の熱電特性

抄録

熱電変換材料膜は、触媒薄膜形成に用いた、RFスパッタ蒸着法で形成した。リチウムドープ酸化ニッケル焼結体をターゲットとして、アルミナとマグネシアの基板上に製膜した。本センサでは、水素に対する白金の触媒活性が室温付近に於いて他の可燃性ガスに比べで高いことから、水素選択性が生じる。