抄録
種々の酸化物ナノホールアレイを非常に簡単で真空装置や電源といった高価な機材を必要としない溶液プロセスで安価に作成した。陽極酸化アルミナを金属フルオロ錯体に室温で数十分から数時間浸すことにより、チタンや鉄、錫などの酸化物ナノホールアレイを作成することができた。この方法により、さまざまな形状のナノホールアレイ膜を作成することができる。Fig. 1.にこの方法で作成したチタニアナノホールアレイのSEM観察像を示す。このナノホールアレイは、直径が約5 cmで厚さが約50μmであり、試料全体にわたって孔径は約200 nm程度の貫通孔があいている。酸化物ナノホールアレイは電気的・光学的・化学的などの違った分野で広い応用が期待される。
