高濃度ゾル-ゲル法により作製したチタン酸バリウムナノ粒子の電気泳動法による成膜とその特性

抄録

高濃度ゾルゲル法を用いて作製したチタン酸バリウムゲルに、2-メトキシエタノール及びアセチルアセトンを添加し、超音波で分散して透明なチタン酸バリウム超微粒子分散液を得た。得られた分散液を用いて、電気泳動法によってチタン酸バリウム薄膜の作製を行った。チタン酸バリウム超微粒子は陰極側に析出した。TEM観察の結果、粒子の粒径10～15nm程度だとわかった。また回折像から立方晶のチタン酸バリウムであることを確認した。