酸化物電極 LaNiO3/BaTiO3 積層薄膜コンデンサ作製の BaTiO3 薄膜の熱処理と誘電特性

抄録

LaNiO_3(LN)/BaTiO_3(BT)薄膜を用いた積層コンデンサを実現するためには、BTのリフトオフプロセスによる微細加工とアニールによる結晶化を図る必要がある。アニールによる結晶化を再現性良く行なうためには高い均熱性のもとで、昇温速度、保持温度を制御することが重要であることが分かってきた。そこで、本研究では室温成膜したBT薄膜について条件を変えてアニールし、その電気特性と微細構造を評価することにより、アニール条件がBT薄膜の結晶化に与える影響を考察することを目的として研究を行なった。