サブミリ波帯におけるチタン酸ストロンチウム薄膜 MIM キャパシタの電界誘起共振現象

抄録

薄膜MIM (Metal-Insulator-Metal)キャパシタの誘電体層にSrTiO3を適用した場合に、SrTiO3薄膜の電界誘起圧電性が薄膜MIMキャパシタのサブミリ波領域での容量周波数特性に対して及ぼす影響について実験的に調査した。その結果、SrTi03薄膜の誘電率は測定周波数に依らず印加電界に対し非線形に減少する傾向を示し、さらに印加電界の大きさとは無関係に決まった周波数に共振が現れた。このSSrTiO3の電界誘起圧電性に起因した共振の発現する周波数は、電極面積に依存せず、キャパシタの厚み構造にのみ依存した。この共振の発現した周波数は圧電解析から予測した周波数とよい一致を示した。