エピタキシャル PLZT 周期構造体の特性評価

抄録

チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)は高い透光性および大きな電気光学係数を持つことが知られており、新たな機能を持つフォトニック結晶の候補材料として期待できる。本研究では、まずNb添加(001)SrTiO_3単結晶基板上に電子線リソグラフィー技術により、ミクロンサイズの孔を持つ三角格子レジストモールドパターンを作製し、このモールドにPLZTの前駆体溶液を充填、乾燥後、不要な上部堆積ゲル層を研磨し、柱状構造の乾燥ゲルを残してレジストを剥離した。その後、大気中、725℃で焼成し、ミクロンサイズのPLZT結晶を周期的に配列した構造体を得た。得られたPLZT周期構造体の結晶性、並びに電気的および光学特性の評価を行った。