プラズマを利用したエアロゾルデポジション法による誘電体膜の作成

抄録

エアロゾルデポジション法は常温でセラミックス膜を形成する新しい技術として実用化が検討されている。しかし、当該手法によれば、緻密で焼成体と略同等の硬さを有する膜が得られるにもかかわらず、誘電体膜に関してはアズデポで満足な誘電特性が得られたという報告は少なく、多くの場合は製膜後に数百度の熱処理を必要とするなど、まだ課題を残している。これに関しては様々な議論がなされているが、その要因として考えられる事として、一つには常温プロセスが故に水分などの不純物が残存していることが予想される。そこで本研究では、この要因を様々なプラズマを利用することで、誘電体膜の特性改善を試みた。