Composition Dependence of Piezoelectric Property in Ba(Ti,Zr)O3 Thin Films Fabricated by Chemical Solution Deposition Process

Kiyotaka Tanaka; Kazuyuki Suzuki; Tatsuo Kimura; Kaori Nishizawa; Takeshi Miki; Kazumi Kato

doi:10.14853/pcersj.2004F.0.136.0

第17回秋季シンポジウム

セッションID: 1P07

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2004F.0.136.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

CSD法により作製したBa(Ti1-xZrx)O3薄膜の圧電特性における組成依存性

*田中清高, 鈴木一行, 木村辰雄, 西澤かおり, 三木健, 加藤一実

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キーワード: チタン酸ジルコン酸バリウム, 無鉛強誘電体, 化学溶液堆積法, 追加焼成, 圧電定数d33

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抄録

我々は組成制御性に優れた化学溶液堆積(CSD)法により無鉛強誘電体Ba(Ti1-xZrx)O3 (BTZ)を作製し，その微細構造と電気特性の評価を行っている。なお，BaTiO3系材料ではその結晶粒径が特性に影響を及ぼすことから，CSD法によって粒径が制御されたBTZ薄膜を得ることに成功している。今回は微小領域の圧電特性d33の組成依存性について検討を行ったので報告する。

責任著者(Corresponding author)

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