抄録
粒子サイズが均一でかつ真球状の単分散球状粒子を二次元、または三次元的に規則配列させるためのプロセス技術の研究開発が推進されている。それは、粒子が高次に規則配列した構造体は粒子と空隙の周期性により特異な光学特性を持つため、次世代の光学材料・デバイスとしての応用が期待されている。我々は、粒子を集積化させるために外部場として局所電場を用いたマイクロ電気泳動プロセスを採用し、その検討を行っている。本研究では、電気泳動プロセスにマイクロ電極またはマイクロアレイ電極(くし形電極)を用いて粒子のマイクロパターニングに関する検討を行ったので、その結果について報告する。
