AlNセラミックスの誘電損失特性に及ぼす焼成スケジュールの影響

抄録

AlNの誘電損失特性に及ぼすものとしてExrinsic lossがある。そこでExtrinsic lossの内、N空孔を減らすことを目的に焼結スケジュールの中に焼鈍過程を加えた。種々の焼鈍スケジュールと誘電損失特性との関係について比較検討した。