Zr系複合材料の超微粒子合成とその特性

抄録

　近年、電子材料はますます小型化の傾向にあり、さらなる高性能化が期待されている。特に積層セラミックコンデンサは小型化、高容量化が進んでおり、その一層の厚さが薄くなればなるほど高容量化が期待できる。薄層化が進むにつれてその誘電体原料も微粒子でなければならず、将来的に超微粒子の誘電体原料は必要不可欠になることは必須である。　　そこで我々は、積層セラミックスコンデンサ等の誘電体材料として使用されているZr系複合材料に注目し、その超微粒子を合成し特性を評価した。