ＭＯＣＶＤ法によるＲｕ-Ｃナノコンポジット膜の合成と電極特性

抄録

Ru(dpm)₃を原料とするMOCVD法によってRu-Cナノコンポジット電極を合成した。酸素分圧90_から_150 Paでは金属Ruと非晶質Cからなる膜が生成し、直径10_から_20 nmの球状粒子が非晶質C中に分散している様子が観察された。焼結体基板上にこれらのナノコンポジット膜を合成し、電極特性を評価した。その結果、電極／YSZ界面の電気伝導度は従来のペースト法によるPt電極よりも3桁高い値となった。また、Ru-Cナノコンポジット電極とYSZから構成される酸素ガス濃淡セルを作製し、酸素センサー特性を評価した結果、473 Kでも酸素濃度の変化に追従する起電力変化がみられ、低温作動酸素センサー用電極として優れた特性を示すことがわかった。