化学修飾ポリシラザンから合成したα-Si₃N₄の低温結晶化挙動の解析

抄録

Si系金属有機ポリマー中に、微量の有機金属アミンを添加してセラミック前駆体を合成した。その前駆体を不活性雰囲気下で熱処理を行って得られた粉末の結晶化挙動を詳しく調べた結果、有機金属アミンの添加量に強く依存することを明らかにした。