抄録
ゾル-ゲル法で得られた多孔質アルミナ薄膜を温水処理すると、数十nmの凹凸を持ち擬ベーマイト相からなる花弁状組織が生成することがわかっている。本研究では、ゾル-ゲル法で作製したアルミナをベースとする二成分系酸化物薄膜の温水処理による表面構造の変化を調べた。その結果、温水処理後のAl2O3- SiO2系、Al2O3 -TiO2系、Al2O3- ZnO系薄膜の表面構造は膜の組成によって異なり、Al2O3 -TiO2系で組織の生成速度はアルミナ単成分に比べ小さくなった。Al2O3- SiO2 系では、特に大きい花弁状組織が得られた。また、Al2O3-ZnO系では六角板状の微結晶からなるAl-Zn系層状複水酸化物が生成することがわかった。
