金属アルコキシドの複合化反応を利用した非鉛系強誘電体膜の作製と特性制御

抄録

種類の異なる金属を含む金属アルコキシドの反応性の違いを利用すると、異なる金属が酸素原子を介して結合した複合アルコキシドを合成することができる。このような複合アルコキシドの形成により、溶液内の分子レベルにおける均質性が向上するため、結果として目的のセラミックス材料を、化学組成を精密に制御しながら比較的低温で結晶化することができる。本報告では、既知のダブルアルコキシドの他に、３種以上の異なる性質を具えた金属を含むアルコキシドの複合化と、合成した複合アルコキシド溶液を用いて基板上に集積化した強誘電体膜の特性を議論し、複合アルコキシド法の特徴を明確化する。