自己組織化膜を用いたPZT強誘電体薄膜のマイクロパターニング

抄録

チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）薄膜は優れた電気特性を有し、メモリーデバイスやマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）への応用が期待されている。今後デバイスなどの小型化に伴いPZT薄膜の微細加工技術の発展が必要不可欠となる。現在提案されているPZT薄膜のパターニング方法は、レジストを介したウェットエッチングや、マスクを介したスパッタリングなどが上げられるが、生産コストが高くエッチング速度が遅いなどの問題がある。そこで我々は安価で容易なPZT薄膜のパターニング方法として、自己組織化膜（SAM）テンプレートを用いた手段を提案し、SAMを用いてパターニングしたPZT薄膜の特性を調査した。