チタニア膜の位置選択制御

抄録

基板表面に作製したパターン化自己組織化単分子膜（SAM）をテンプレートとすることにより、SAM表面の官能基による界面分子認識、化学反応性等を利用し、溶液からのチタニア薄膜の領域選択析出を実現した。また、ここで提案した複数の手法を元に、各種酸化物薄膜、金属薄膜のパターニングも実施した。