インジウム(III)-過酸化水素水溶液からの酸化インジウム前駆体薄膜の析出

抄録

インジウム(III)と過酸化水素を含む水溶液にガラス基板を浸し、所定温度に保つことによって、透明で均一な厚さの水酸化インジウムの薄膜を析出させた。この薄膜を200℃以上の温度で焼成することにより、透明な酸化インジウム薄膜を作製した。薄膜析出に対する出発溶液の組成および反応温度の影響を明らかにするとともに、得られる酸化インジウム薄膜のいくつかの性質を調べた。