ECR励起Heプラズマによるa-CN膜の作製

抄録

本研究では、電子サイクロトロン共鳴（ECR）励起のHeプラズマによる臭化シアン（BrCN）の解離励起反応を用いてアモルファス窒化炭素（a-CN）膜を作製し、得られた膜についてナノインデンテーション法による硬度測定とラマン散乱分光分析を行い、膜の硬度と内部構造の関係について検討した。Heの分圧を一定としてBrCNの分圧を変化させたところ、比較的軟質な膜と比較的硬質な膜が得られ、ラマン散乱分光分析の結果から、比較的軟質な膜ほどグラファイト構造に起因するG（graphitic）バンドが大きく、比較的硬質な膜ほどグラファイトの不整合に起因するD（disorder）バンドが大きいことがわかった。