日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第17回秋季シンポジウム
セッションID: 1H01
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セラミックスインテグレーション技術におけるバッファー層の役割
*羽田 肇一ノ瀬 昇水谷 惟恭
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抄録
科学技術振興調整費による総合研究、「セラミックスインテグレーションによる技術 による新機能材料創製に関する研究」本年度で最終年を迎えた。このプロジェクトは 産官学10機関の研究者が、多様な機能を目指して、集積化、複合化した新しいセラ ミックスの創製に取り組んでいる。バッファレイヤーは、プロジェクトで共通なキー ワードとして取り組んでいる課題である。プロジェクトにおけるバッファレイヤーに 対する考え方は、半導体分野等で一般的的に認識されている概念よりより幅広い考え 方を取っており、拡張したバッファレイヤーと位置づけられる。本報告では、この考 え方と基礎として、プロジェクト全体で得られて成果について概観する。
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©  日本セラミックス協会 2004
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