抄録
内部電極材に安価な卑金属Niを用いた積層セラミックコンデンサ(MLCC)の誘電体には，希土類元素を添加したチタン酸バリウムが多用されている．希土類元素にはHo,Y,Dyなどが有効とされるが，これらの効果や役割について必ずしも明確になっていない．そこで，チタン酸バリウムにおけるHoの固溶限界とその分布に関して調査した．Hoの固溶限界量は，イオン注入法をもちいてHoドープしたチタン酸バリウムを作製し，SIMSによるHoの拡散評価から算出し，格子中へのHoの固溶限界は数1000ppmと見積もった．また，バルク中のHo分布については，一次イオン垂直入射型の二次イオン質量分析計により評価し，Hoが粒内で不均一に分布していることを観測した．
