抄録
薄膜を単結晶薄膜として成長させることは、物質の本来特性を発揮させるために有効な手段である。単結晶基板を用い、エピタキシャル成長させることは単結晶薄膜を得るために一般的に用いられている。一方、シリコンテクノロジーにおいては更なる高密度化の要請から３次元構造設計が取り入れられ、非晶質である酸化シリコン絶縁膜上に機能膜を形成することが要請されつつある。本研究は非晶質基板上に単結晶薄膜を作成する手法を開発することを目的とする。本報告ではシリカガラス上での白金薄膜の形成とその微細構造及び結晶性についてＡＦＭ、ＸＲＤ等で検討した結果を報告する。
