導電性AlNセラミックスの作製に関する雰囲気の影響

抄録

AlNのもつ高熱伝導性を損なうことなく電気伝導性を付与するために、Y₂O₃を焼結助剤として用い、このY₂O₃から合成可能な導電性希土類窒化物であるYNを粒界に析出させることを試みた。AlNに3_から_9wt％のY₂O₃を加え、1700℃以上で焼結することにより、YNの生成が確認できた。そしてYNの生成に伴って、電気伝導度が上昇していく傾向が確認できた。また、Y₂O₃により易還元性のCeO₂を少量加え焼結することにより、YN生成温度が低下し、さらに加えるCeO₂の量によって10^-11_から_10¹Scm^-1の範囲で伝導度を制御できることが分かった。今回の発表では、導電性AlNの作製雰囲気に関する影響について報告する。