ゾルゲルスピンコーティング法を用いたセリウム-チタン薄膜の物性

抄録

　低温材料合成法として知られるゾル・ゲル法は近年注目を浴びている。その中でも特にゾル・ゲルコーティング膜が実用的研究の最も進んでいる分野である。膜の作成には、主に溶液の中に基板を直接浸すディップコーティング法と、回転する基板の上に溶液を滴下するスピンコーティング法があるが、後者は必要とされる溶液量が少量であることから、より実用的な方法として期待されている。　本研究では紫外線吸収特性を有することで知られているセリウム/チタン薄膜をスピンコーティング法で作製した。得られた薄膜の吸収スペクトル、微細構造、表面形状等について報告する。