SiC粉体の浸漬熱測定による表面評価

抄録

本研究では、極めて表面近傍の知見を与える浸漬熱測定を用いて、SiC原料粉体の表面状態、特にこれまで報告されていない、純SiCの表面の酸化挙動の様子を評価する事を目的とした。浸漬媒には過去の事例が多く、比較可能な蒸留水を用いた。評価対象として、β-SiC、HF洗浄後のβ-SiC、酸化処理したβ-SiC、アモルファスSiO2、クリストバライトSiO2について行なった。HF処理後のSiCの酸化の初期では浸漬熱は急激な上昇を示したが、その後アモルファスSiO2の浸漬熱へと収束した。